新品發(fā)布??！  日本東麗（TORAY） 半導(dǎo)體氧氣分析儀探頭 SD40NW-2

新品發(fā)布??！  日本東麗（TORAY） 半導(dǎo)體氧氣分析儀探頭 SD40NW-2

近期我司新推出 日本東麗（TORAY） 半導(dǎo)體氧氣分析儀探頭 SD40NW-2

東麗（TORAY）的 SD-40系列 是高純氣體和半導(dǎo)體制造行業(yè)中高性能、高可靠性的微量/痕量氧分析儀的代名詞。SD40NW-2 是該系列中用于超低濃度測(cè)量的核心傳感器探頭，以其ppb（十億分之一）級(jí)別的檢測(cè)下限、極快的響應(yīng)速度和好的長期穩(wěn)定性著稱，是半導(dǎo)體、光伏、特種氣體、科研等領(lǐng)域?qū)ρ鯕馕廴具M(jìn)行嚴(yán)格監(jiān)控的關(guān)鍵設(shè)備。

核心原理：氧化鋯傳感器

SD40NW-2 探頭基于 “極限電流型氧化鋯固體電解質(zhì)" 原理。

• 氧化鋯陶瓷管：核心是一個(gè)在高溫（約700°C）下工作的氧化鋯元件。在高溫下，它允許氧離子通過。

• 電化學(xué)泵：通過在氧化鋯兩側(cè)施加電壓，可以將樣氣中的氧氣“泵入"或“泵出"一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)氣腔。

• 測(cè)量極限電流：當(dāng)泵速達(dá)到極x時(shí)，產(chǎn)生的電流與樣氣中的氧氣濃度成嚴(yán)格的線性正比關(guān)系。通過精確測(cè)量這個(gè)極限電流，即可計(jì)算出極低的氧氣濃度。

• 優(yōu)勢(shì)：

• 超高靈敏度：可檢測(cè)低至 1 ppb 甚至更低的氧氣濃度。

• 高選擇性：只對(duì)氧氣分子響應(yīng)，不受其他背景氣體（如N?， H?， Ar， He等）干擾。

• 寬量程：單臺(tái)儀器可覆蓋從 ppb級(jí)到百分比級(jí) 的廣闊量程（通常為0-10ppm/0-1000ppm/0-100%等多量程可切換）。

• 響應(yīng)迅速：T90響應(yīng)時(shí)間可達(dá)數(shù)秒至數(shù)十秒（取決于流速和管路），遠(yuǎn)快于傳統(tǒng)電化學(xué)傳感器。

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典型應(yīng)用場景

• 半導(dǎo)體制造：

• 晶圓加工工具（如CVD， PVD， Etch）的保護(hù)氣（N?）和工藝氣（Ar， H?）中痕量氧的在線監(jiān)測(cè)。

• 氣體分配系統(tǒng)和氣柜（Gas Cabinet）的純度驗(yàn)證。

• 晶圓儲(chǔ)存和運(yùn)輸用的充氮手套箱、貨柜（FOUP）內(nèi)的氧含量監(jiān)控。

• 光伏與平板顯示：硅烷（SiH?）、氨氣（NH?）等特種氣體輸送過程中的安全監(jiān)控（防止氧氣混合形成爆炸物或影響薄膜質(zhì)量）。

• 高純氣體生產(chǎn)與供應(yīng)：空分設(shè)備、氫氣純化裝置、氣體鋼瓶/儲(chǔ)罐的出廠檢驗(yàn)和管道輸送在線監(jiān)測(cè)。

• 金屬熱處理與焊接：可控氣氛爐（如氮?dú)獗Ｗo(hù)爐）中的氧含量控制，防止產(chǎn)品氧化。

• 鋰電池制造：干燥房、電極涂布烘箱等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的露點(diǎn)及殘余氧含量監(jiān)測(cè)（常與露點(diǎn)儀聯(lián)用）。

• 科研實(shí)驗(yàn)室：需要精確控制氣氛的實(shí)驗(yàn)裝置，如催化研究、材料合成等。

東麗 SD40NW-2 探頭及其所屬的SD-40系列，代表了痕量氧分析技術(shù)的水平，是半導(dǎo)體等g端制造業(yè)質(zhì)量控制和安全保障的“守門員"。